“性能指标精度达到0.1℃ 人体测温用高精度MEMS红外温度传感器技术实现突破”

本篇文章486字，读完约1分钟

科学技术日报记者陈瑜

高性能耳温枪、额温枪等非接触测温工具是目前对大规模人员进行发热筛选的主要工具之一，其核心部件mems红外温度传感器长时间主要依赖进口。 最近，中国兵器工业集团电子院华东光电集成器件研究所通过技术攻关，完成了传感器芯片的各类单项试验，性能指标精度达到0.1℃，抗干扰能力优于目前市场主流产品。

疫情防控、再生产、高性能耳温枪和额温枪等非接触人体测温工具mems红外传感器投诉数百万个。 华东集成器件研究所从1月底开始紧急调整产品研发计划，尽早恢复生产，与党员突击队组建技术攻关组，全天候轮流开展研发，目前已完成传感器芯片的各类个别试验，3月底完成芯片样品的研发 此外，该所还购置了全自动化组包关键设备，补充芯片制造关键设备，推进传感器芯片制造、组包国产化，月生产能力从目前的2万个提高到100万个以上，4月初可以大量投入市场。

作为国家发改委mems国家地方联合工程实验室和兵器工业集团微系统制造技术创新中心，华东光电集成器件研究所拥有mems传感器芯片设计、制造、包装、测试等完备的科研能力，通过技术创新取得了mems传感器的众多技术成果，下一步